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    • 姓名： 解婧
    • 性别： 女
    • 职称： 副研究员
    • 职务： 
    • 学历： 博士
    • 电话： 010-82995789
    • 传真： 010-82995687
    • 电子邮件： xiejing@yisiaila.com
    • 所属部门： 微电子仪器设备研发中心
    • 通讯地址： 北京市朝阳区北土城西路3号

      简　　历：

    • 教育背景 

      2002-2006 清华大学 电子工程系 工学学士 

      2006-2011中国科学院半导体研究所 微电子学与固体电子学 工学博士　　 

      工作简历 

      2007.07至今，在中国科学院微电子研究所工作，现为副研究员、硕士生导师 

      2015.10至今，中国科学院大学授课，岗位教师  

      社会任职：

      研究方向：

    • 成套MEMS制造技术、微纳材料、结构、及相关设备研究 

       

      承担科研项目情况：

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      代表论著：

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      专利申请：

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      获奖及荣誉：

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