一种制备纳米器件的方法 --中国科学院微电子研究所

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专利名称:	一种制备纳米器件的方法
专利类别:	发明专利
申请号:	2013104917693
申请日期:	2013-10-18
专利号:	201310491769.3
第一发明人:	龙世兵;孙鹏霄;刘琦;吕杭炳;刘明;张美芸;王国明;李阳;王明;许晓欣;刘若愚;李丛飞;刘红涛
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:	授权
专利证书号:	201310491769.3
专利摘要:
其它备注:	研究生5,微电子重点实验室